2018-12-20

電子線応用技術研究会：第13回研究会（EBAT・AM合同研究会）

日時

2018年12月20日（木）13:00-17:30

場所

日本電子　大手町オフィスの大会議室18階（13階ではありません）
東京都千代田区大手町2-1-1　大手町野村ビル18階
案内図(PDF)

参加費

無料

参加申し込み

12月13日（木）までに、EBAT・AM合同研究会　参加申し込み にてお申し込み下さい。

資料配付

12月18日(火) までに、参加申し込みをされた皆様へ、講演資料等のダウンロード方法をお知らせ致します。

プログラム

• 第13回先端計測技術研究会（AM）
• 第13回電子線応用技術研究会（EBAT）

表示項目： 和文題名、 和文著者、 和文所属、 英文題名、 英文著者、 英文所属　

第13回先端計測技術研究会（AM）
	挨拶及びメンバー紹介	13:00-13:15
(1)	「Minimizing "Tone Reversal" during 19x nm Mask Inspection」 小寺　豊 凸版印刷	13:15-14:00
(2)	「次世代欠陥検査装置のための検査標準試料の開発～ゼロLER_LSパターン上に作り込んだ1nmプログラム欠陥付ウエハ等～」 飯田　晋 EIDEC	14:00-14:45
《 休憩》
第13回電子線応用技術研究会（EBAT）
(1)	「電子ビームリソグラフィにおけるレジスト表面帯電機構の分類」 中山田 憲昭 ニューフレアテクノロジー	15:00-15:45
(2)	「UVナノインプリント可能なEBレジストを用いた三次元微細構造の製作」 岡部 貴雄 東京理科大	15:45-16:30
(3)	「輪帯照明SEMによる分解能と焦点深度の両立」 木村 愛美 日立製作所	16:30-17:15
	今後の展望等自由討論	17:15-17:25

懇親会

• 開催日時：2018年12月20日(木) 17:30から2時間程度
• 場所：「山陰海鮮居酒屋 炉端かば 丸の内」
• 住所：東京都千代田区丸の内1-4-1 iiyo!!B1（大手町駅、東京駅より徒歩1分）
• 電話：050-3462-0852
• 会費：4000円程度 (当日、申し受けます)
• 参加申込：研究会参加申し込みの際に、参加の可否をご連絡ください

問い合わせ先

飯田 susumu.iida@eidec.co.jp TEL:090-6009-3659

研究会　役員

研究会委員長

中前幸治(大阪大学)

電子線応用技術研究会　副委員長

小瀬洋一(日立ハイテクノロジーズ)、須賀三雄(日本電子）、飯田晋（東芝メモリ）

先端計測技術研究会　副委員長

山崎裕一郎(NGR)、小瀬洋一(日立ハイテクノロジーズ) 、飯田晋（東芝メモリ）

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